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キャッシュファイルとは、Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、なお、PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。キャッシュファイルに格納されたデータは、必要なときに再利用されることで、同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。連関図法ファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、目的に応じてさまざまなものがある。フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、キャッシュファイルに格納される対象としては、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。